Обработка полупроводниковых материалов. Учебное пособие для СПТУ

Автор(ы)

Запорожский В.П, Лапшинов Б.А

Год

1988

Язык

rus

Теги

Электроника

Аннотация

Обработка полупроводниковых материалов. Учебное пособие для СПТУ Год издания : 1988 Автор : Запорожский В.П., Лапшинов Б.А. Издательство : М.: Высшая школа Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 184 Описание : В книге приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, описаны режимы обработки, причины возникновения брака и способы eгo устранения; процессы механической обработки пластин, разделения их на кристаллы, изготовления фотошаблонов; устройство, наладка, правила эксплуатации типового оборудования и др. Основные сведения о технологических процессах изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Строение, свойства и способы получения монокристаллов полупроводниковых материалов. Разрушение монокристаллов полупроводниковых материалов при механической обработке и методы исследования структурных нарушений. Изготовление подложек из полупроводниковых материалов. Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы. Фотолитографическая обработка полупроводниковых пластин. Изготовление фотошаблонов. Примеры страниц