Обработка полупроводниковых материалов. Учебное пособие для СПТУ
- Автор(ы)
- Запорожский В.П, Лапшинов Б.А
- Год
- 1988
- Язык
- rus
- Теги
- Электроника
Аннотация
Обработка полупроводниковых материалов. Учебное пособие для СПТУ Год издания : 1988 Автор : Запорожский В.П., Лапшинов Б.А. Издательство : М.: Высшая школа Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 184 Описание : В книге приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, описаны режимы обработки, причины возникновения брака и способы eгo устранения; процессы механической обработки пластин, разделения их на кристаллы, изготовления фотошаблонов; устройство, наладка, правила эксплуатации типового оборудования и др. Основные сведения о технологических процессах изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Строение, свойства и способы получения монокристаллов полупроводниковых материалов. Разрушение монокристаллов полупроводниковых материалов при механической обработке и методы исследования структурных нарушений. Изготовление подложек из полупроводниковых материалов. Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы. Фотолитографическая обработка полупроводниковых пластин. Изготовление фотошаблонов. Примеры страниц
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Запорожский В. П., Лапшинов Б. А. Обработка полупроводниковых материалов. Учебное пособие для СПТУ. — 1988.
- В тексте
- (Запорожский В. П., Лапшинов Б. А. Обработка полупроводниковых материалов. Учебное пособие для СПТУ. 1988)