Термические процессы в микроэлектронике. Учебник для средних ПТУ (3-е изд.)

Автор(ы)

Моряков О.С

Год

1987

Издательство

Высш. шк.

Издание

3-е изд., перераб

Язык

rus

Библиографическая ссылка

М.: Высш. шк., 1987. — 199 с.

Теги

Электроника

Аннотация

Термические процессы в микроэлектронике. Учебник для средних ПТУ (3-е изд.) Год издания : 1987 Автор : Моряков О.С. Издательство : М.: Высшая школа Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 199 Описание : В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е — в 1980 г. "Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве") дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации. Примеры страниц