Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Автор(ы)

Луфт Б.Д. (ред.)

Год

1982

Язык

rus

Теги

физика Химия Электроника

Аннотация

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников Год : 1982 Автор : Луфт Б.Д. (ред.) Издательство : Радио и связь Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 134 Описание : Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений. Примеры страниц