Ионно-активационная кристаллизация пленок

Автор(ы)

Лютович А.С

Год

1982

Язык

rus

Теги

физика Химия

Аннотация

Ионно-активационная кристаллизация пленок Год издания : 1982 Автор : Лютович А.С. Издательство : Фан Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 148 Описание : В монографии изложены физико-химические основы процессов осаждения пленок и монокристаллических слоев с применением ионных пучков. Систематизированы результаты исследований последних лет в сравнительно новой области физики тонких пленок — кристаллизации из ионно-молекулярных потоков; рассмотрены механизмы действия ионного пучка на зарождение, рост слоев и их легирование; показаны особенности влияния ионного пучка на формирование структурных и электрофизических свойств пленок и слоев. Для специалистов в области физики и химии твердого тела, электронной техники и микроэлектроники, аспирантов и студентов физических и инженерно-физических факультетов вузов. Примеры страниц