Численное моделирование микроэлектронных структур

Автор(ы)

Мулярчик С.Г

Год

1989

Язык

rus

ISBN

5-7855-0045-0

Теги

Математика Программирование Электроника

Аннотация

Численное моделирование микроэлектронных структур Год : 1989 Автор : Мулярчик С.Г. Издательство : Университетское ISBN : ISBN 5-7855-0045-0 Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Интерактивное оглавление : Нет Количество страниц : 368 Описание : Монография посвящена вопросам постановки, методам и алгоритмам решения задачи численного моделирования микроэлектронных структур. Содержит обобщающее введение в проблему получения математических моделей полупроводниковых структур, берущую свое начало в закономерностях электромагнитных процессов, выраженных уравнениями Максвелла. Главное внимание уделяется аспектам автоматизации численного моделирования, созданию вычислительного инструментария проверки модельных технолого-конструктивных решений. Результаты теоретических исследований иллюстрируются большим количеством примеров и рисунков. Адресуется специалистам в области автоматизации проектирования в микроэлектронике, инженерам-разработчикам полупроводниковых приборов и интегральных схем. Может быть полезной студентам и аспирантам, специализирующимся в области микроэлектроники и автоматизации проектирования. Примеры страниц Оглавление Предисловие Глава 1. Основные уравнения теории полупроводниковых приборов 9 1.1. Уравнения электромагнитного поля ... 9 1.2. Интегральная форма .... ... 17 1.3. Квазистационарное приближение ... 21 Глава 2. Описание полупроводниковых сред 25 2.1. Концентрации дырок и электронов ... 25 2.2. Плотности тока 33 2.3. Дрейфовая подвижность 39 2.4. Ток в сильно легированных полупроводниках 49 2.5. Рекомбинация носителей заряда ... 62 2.6. Границы полупроводниковых сред ... 72 Глава 3. Двумерное моделирование стационарных процессов 76 3.1. Математические модели микроэлектронных структур . 77 3.1.1. Модели в смешанном базисе 79 3.1.2. Особенности математических моделей гибридного набора основных переменных 87 3.1.3. Переход в однородный базис 89 3.1.4. Общая характеристика смешанного, гибридного и однородного наборов переменных 90 3.2. Алгебраизация уравнений 91 3.2.1. Выбор метода аппроксимации 91 3.2.2. Разностная сетка 96 3.2.3. Дискретное уравнение Пуассона ... ... 100 3.2.4. Дискретные уравнения непрерывности 109 3.3. Решение нелинейной алгебраизованной задачи . . 127 3.3.1. Алгоритмы последовательного типа 128 3.3.2. Свойства порождаемых линейных систем . . . . 146 3.3.3. Расчет начального приближения 162 3.3.4. Квазигуммелевские алгоритмы 171 Глава 4. Методы решения линейных систем 183 4.1. Методы сопряженных направлений 183 4.2. Неполная факторизация симметрических матриц . . 191 4.2.1. Полное разложение 192 4.2.2. Неполные факторизации 193 4.2.3. Модифицированные неполные факторизации . . . 204 4.2.4. Блочная факторизация 210 4.2.5. Неполные блочные разложения 212 4.3. Метод сопряженных направлений с неполной факторизацией 224 4.3.1. Вопросы реализации 224 4.3.2. Численное исследование 237 4.4. Неполная факторизация произвольных матриц . . 248 4.4.1. Пол