Технология полупроводникового кремния

Автор(ы)

Фалькевич Э.С, Пульнер Э.О, Червоный И.Ф

Год

1992

Теги

Металлургия физика Химия Электроника

Аннотация

Технология полупроводникового кремния Год выпуска : 1992 Автор : Фалькевич Э.С, Пульнер Э.О., Червоный И.Ф Жанр : Профессиональный справочник Издательство : Металлургия ISBN : 5-229-00740-0 Формат : DjVu Язык : Русский Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 408 Описание : Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве. Доп. информация : Рецензент: проф. докт. хим. наук В.Б. Уфимцев. Взято здесь Скриншоты