Патрушева Т.Н. - Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
- Автор(ы)
- Высшее образование. Бакалавриат
- Год
- 2014
- Издательство
- Сиб. федер. ун-т
- Язык
- rus
- ISBN
- 978-5-16-006376-8
- Библиографическая ссылка
- Красноярск: Сиб. федер. ун-т, 2014. — 260 с.
- Теги
- Химия Электроника
Аннотация
Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники Год издания : 2014 Автор : Патрушева Т.Н. Жанр : учебное пособие Издательство : М.: ИНФРА-М; Красноярск: Сибирский федеральный университет ISBN : 978-5-16-006376-8 (ИНФРА-М); 978-5-76382491-2 (СФУ) Серия : Высшее образование. Бакалавриат Язык : русский Формат : PDF Качество : издательский макет или текст (eBook) Интерактивное оглавление : да Количество страниц : 260 Описание : В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров. Примеры страниц Оглавление 1. Вид ы сенсоров 2. Химические газовые сенсоры 2.1. Металлооксидные сенсоры 2.2. Химические сенсоры на основе оксида олова 2.3. Химические сенсоры на основе оксида титана 2.4. Химические сенсоры на основе оксида индия 3. Электрохимические сенсоры 3.1. Электрохимические сенсоры на основе ZrO₂ 3.2. Новые электродные материалы электрохимических сенсоров 3.3. Электрохимические сенсоры на полевых транзисторах 4. Характеристики газового сенсора 4.1. Температурная зависимость электропроводности газового сенсора 4.2. Микроструктура сенсорных пленок 4.3. Чувствительность и быстродействие газового сенсора 4.4. Экспериментальная установка для исследования быстродействия и газочувствительности оксидных сенсоров 4.5. Селективность сенсоров 5. Микроэлектронные датчики 5.1. Активные и пассивные датчики 5.2. Полупроводниковые твердотельные датчики 5.3. Мультиcенсорные системы 6. МИКРОКОНСТРУИРОВАНИЕ ДАТЧИКОВ 6.1. Классификация структур сенсоров 6.2. Соединение микроконструкции с корпусом 6.3. Метод микроконструирования 6.4. Особенности проектирования микроэлектронных датчиков для биомедицинских применений 7. МАГНИТОМЕТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ 7.1. Магнитооптический датчик утечек метана 7.2. Феррозонды 7.3. Магнитные датчики для измерения толщины и расхода 7.4. Композиционные магнитоэлектрические датчики магнитного поля 8. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ 8.1. Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах 8.2. Многофункциональные микроэлектронные преобразователи на ПАВ 8.3. Акустооптический сенсор для систем типа «электронный нос