Технология и конструирование интегральных микросхем. Учебное пособие для вузов

Автор(ы)

Березин А.С, Мочалкина О.Р

Год

1983

Язык

rus

Теги

Электроника

Аннотация

Технология и конструирование интегральных микросхем. Учебное пособие для вузов Год издания : 1983 Автор : Березин А.С., Мочалкина О.Р. Издательство : Радио и связь Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 232 Описание : Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы планарной технологии полупроводниковых ИС, технологические процессы производства пленочных ИС, методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС. Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, занимающихся созданием интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры на их основе. Примеры страниц Оглавление Предисловие (3). Глава 1. Основы планарной технологии (4). Глава 2. Обработка кремниевых подложек (9). Глава 3. Легирование кремния (18). Глава 4. Эпитаксиальное наращивание слоев кремния (35). Глава 5. Получение тонких пленок (43). Глава 6. Фотолитография (63). Глава 7. Технологический процесс изготовления полупроводниковых интегральных микросхем (73). Глава 8. Технологические процессы изготовления тонкопленочных и толстопленочных гибридных интегральных микросхем (83). Глава 9. Особенности технологии больших и сверхбольших интегральных микросхем (97). Глава 10. Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем (111). Глава 11. Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем (116). Глава 12. Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем (129). Глава 13. Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем (159). Глава 14. Проектирование элементов МДП-интегральных полупроводниковых микросхем (167). Глава 15. Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем (178). Глава 16. Конструирование гибридных интегральных микросхем (191). Глава 17. Конструирование больших интегральных микросхем (205). Приложение (223). Список литературы (227). Предметный указатель (228). Доп. информация : Скан: AAW, обработка, формат Djv: pohorsky, 2011