Бериш Р. (ред.) - Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Вып. 1 и 2)

Автор(ы)

Проблемы прикладной физики

Год

1984

Язык

rus

Теги

История Металлургия физика

Аннотация

Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Вып. 1 и 2) Год : 1984,1986 Автор : Бериш Р. (ред.) Жанр : Физика твердого тела Издательство : М.: Мир Серия : Проблемы прикладной физики Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 336+485 Описание : Выпуск 1 "Физическое распыление одноэлементных твердых тел " В книге, написанной крупнейшими специалистами по радиационной физике твердого тела, рассмотрены современные теории взаимодействия легких и тяжелых ионов с моно- и поликристаллическими твердыми телами, методы моделирования радиационных эффектов в твердых телах с помощью ЭВМ, систематизирован обширный материал, полученный при распылении твердых тел ионной бомбардировкой. Книга является итогом самых последних исследований в данной области, многие результаты публиковались ранее лишь в виде отчетов. Для научных работников и инженеров, работающих в области физики твердого тела, микроэлектроники, плазменной технологии, плазменных энергетических установок, а также для студентов и аспирантов вузов соответствующих специальностей. Выпуск 2 "Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности:" Во II выпуске книги, написанной крупнейшими специалистами мира по радиационной физике твердого тела (из ФРГ, Великобритании, Австрии, США, Дании и Югославии), рассмотрены такие важные для новой техники вопросы, как распыление многокомпонентных материалов, в том числе изменение состава их поверхностных слоев, обусловленное ионной бомбардировкой, и развитие рельефа на поверхности при ионной бомбардировке. Впервые в монографической литературе дан обзор таких нетрадиционных видов распыления, как распыление под действием электронов, фотонов и нейтронов. Для научных работников и инженеров, работающих в области физики твердого тела, микроэлектроники, плазменной технологии, плазменных энергетических установок, а также для студентов и аспирантов вузов соответствующих специальностей. Опубликовано группой Примеры страниц Выпуск 1 Выпуск 2 Оглавление Выпуск 1 Предисловие редактора перевода 5 Предисловие 10 ГЛАВА 1 . ВВЕДЕНИЕ И ОБЩИЙ ОБЗОР . Р . Бериш 12 § 1 . Общий обзор 12 § 2 . Коэффициент распыления 14 § 3 . Распределения распыленных частиц 16 § 4 . Физика распыления 17 § 5 . Расчеты процесса распыления 19 § 6 . Применение распыления 20 ГЛАВА 2 . РАСПЫЛЕНИЕ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ , ОБЩИЕ ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ . П . Зигмунд . . . . 23 § 1 . Введение и история вопроса 23 § 2 . Сведения из теории атомных столкновений 34 § 3 . Распыление за счет линейных каскадов столкновений . . . . 49 § 4 . Режим первичного прямого выбивания и режим тепловых пиков 74 § 5 . Другие вопросы 82 Приложение . Связь между прямым и обратным уравнениями Больц- мана 91 ГЛАВА 3 . ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ РАСПЫЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ . М . Робинсон 99 § 1 . Исторический обзор 100 § 2 . Кристаллография н термодинамика поверхности 103 § 3