Физические основы микроэлектроники
- Автор(ы)
- В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик
- Год
- 2008
- Издательство
- Издательский центр «Академия»
- ISBN
- 978-5-7695-4227-5
- Выходные данные
- М. : Издательский центр «Академия», 2008. — 400 с.
- Теги
- Физика Математика
Аннотация
Физические основы микроэлектроники Год выпуска : 2008 Автор : В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик Издательство : Академия ISBN : 978-5-7695-4227-5 Формат : DjVu Качество : eBook (изначально компьютерное) Количество страниц : 402 Описание : Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. скриншот страницы
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик. Физические основы микроэлектроники. — М. : Издательский центр «Академия», 2008. — 400 с.
- В тексте
- (В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик. Физические основы микроэлектроники. М. : Издательский центр «Академия», 2008. 400 с.)