Физические основы микроэлектроники

Автор(ы)

В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик

Год

2008

Теги

Математика физика

Аннотация

Физические основы микроэлектроники Год выпуска : 2008 Автор : В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик Издательство : Академия ISBN : 978-5-7695-4227-5 Формат : DjVu Качество : eBook (изначально компьютерное) Количество страниц : 402 Описание : Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений. скриншот страницы