Углов А.А., Анищенко Л.М., Кузнецов С.Е. - Адгезионная способность пленок

Автор(ы)

Библиотека конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры

Год

1987

Язык

rus

Теги

физика Химия Электроника

Аннотация

Адгезионная способность пленок Год : 1987 Автор : Углов А.А., Анищенко Л.М., Кузнецов С.Е. Издательство : Радио и связь Серия : Библиотека конструктора-технолога радиоэлектронной аппаратуры Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 104 Описание : Рассматривается адгезионная способность пленок, физико-механическое и физико-химическое взаимодействие на границе пленка-подложка, виды границ между пленкой и подложкой. Приводятся методы измерения адгезионной прочности: нормального отрыва, скрайбирования, отслаивания и др. Списывается технология нанесения пленок: термическое испарение в вакууме, катодное и магнитронное распыление, ионно-плазменный метод, лазерное и электронно-лучевое напыление. Предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся разработкой процессов нанесения пленок. Примеры страниц Оглавление Предисловие (3). Введение (4). Глава первая. Общие вопросы адгезии (11). Глава вторая. Методы измерения адгезионной прочности (33). Глава третья. Влияние технологических параметров производства на адгезионную способность пленок (60). Список литературы (100). Доп. информация : Скан: AAW, обработка, формат Djv: Pohorsky Опубликовано группой