Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)

Автор(ы)

Крапухин В.В, Соколов И.А, Кузнецов Г.Д

Год

1995

Издательство

«МИСИС»

Издание

2-е изд.

Язык

rus

ISBN

5-87623-004-9

Библиографическая ссылка

М.: «МИСИС», 1995.— 493 с.

Теги

физика Электроника

Аннотация

Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.) Год : 1995 Автор : Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Жанр : Электроника Издательство : МИСИС ISBN : 5-87623-004-9 Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 493 Описание : Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы. Для студентов вузов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» и специальности «Материалы и компоненты твердотельной электроники». Примеры страниц