Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)
- Автор(ы)
- Крапухин В.В, Соколов И.А, Кузнецов Г.Д
- Год
- 1995
- Издательство
- «МИСИС»
- Издание
- 2-е изд.
- Язык
- rus
- ISBN
- 5-87623-004-9
- Выходные данные
- М. : «МИСИС», 1995. — 493 с.
- Теги
- Электроника Физика
Аннотация
Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.) Год : 1995 Автор : Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Жанр : Электроника Издательство : МИСИС ISBN : 5-87623-004-9 Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 493 Описание : Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы. Для студентов вузов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» и специальности «Материалы и компоненты твердотельной электроники». Примеры страниц
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Крапухин В. В., Соколов И. А., Кузнецов Г. Д. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.). — 2-е изд. — М. : «МИСИС», 1995. — 493 с.
- В тексте
- (Крапухин В. В., Соколов И. А., Кузнецов Г. Д. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.). 2-е изд. М. : «МИСИС», 1995. 493 с.)