Технология изготовления ферромагнитных пленок
- Автор(ы)
- Апокин И.А
- Год
- 1966
- Издательство
- Энергия
- Серия
- Библиотека по автоматике, вып. 176
- Теги
- Электроника Автоматика
Аннотация
Применение магнитопленочных элементов является одним из наиболее перспективных направлений развития устройств для запоминания дискретной информации [Л. К 2]. Прогресс в этой области в значительной степени зависит от разработки технологии изготовления пленок, которая обеспечила бы массовое и экономичное изготов- ление запоминающих элементов с заданными пара- метрами. Для изготовления магнитных пленок применя- ются в основном два технологических процесса: испарение в вакууме и электрохимическое осаждение. В настоящее время намечается раздел «сфер влияния» между этими методами. Вакуумное испарение преимуще- ственно используется для изготовления плоских магнит- ных пленок, а электролиз — для изготовления цилиндри- ческих пленок. В рамках каждого метода перед техно- логами стоят задачи получения пленок, которые характеризуются заданными магнитными параметрами, однородностью магнитных свойств и высокой воспроиз- водимостью. Трудности разработки оптимального технологиче- ского процесса в определенной степени обусловлены не- полнотой и приближенностью теорий, объясняющих при- роду тех или иных физических особенностей магнитных пленок. «Я знаю по собственному горькому опыту,—пи- шет профессор Толанский (Tolansky), — что для успеш- ного изготовления хороших тонких пленок в вакууме нужно быть скорее алхимиком, чем физиком. Искусство изготовления тонких пленок в значительной степени складывается из правильного выбора способа очистки по- верхности и скорости нанесения покрытия, из того, что- бы знать, когда прекратить испарение и когда продол- 3 жить, чтобы знать, как сохранить и закрепить образо- вавшуюся пленку и т. д.» [Л. 3]. Исследования в области технологии изготовления ферромагнитных пленок ведутся в настоящее время в большинстве промышленно развитых стран мира. Су- щественный вклад в изучение этого вопроса внесен советскими учеными, в том числе Л. В. Киренским, Р. В. Телесниным, А. Г. Лесником и др. Из зарубежных стран наибольшие успехи в области изготовления маг- нитных
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Апокин И. А. Технология изготовления ферромагнитных пленок. — [Б. м.] : Энергия, 1966.
- В тексте
- (Апокин И. А. Технология изготовления ферромагнитных пленок. [Б. м.] : Энергия, 1966)