Технологии МЭ. Химическое осаждение из газовой фазы (Серия Мир электроники)
- Автор(ы)
- Киреев В.Ю, Столяров А.А
- Год
- 2006
- Теги
- Электроника Химия
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Киреев В. Ю., Столяров А. А. Технологии МЭ. Химическое осаждение из газовой фазы (Серия Мир электроники). — 2006.
- В тексте
- (Киреев В. Ю., Столяров А. А. Технологии МЭ. Химическое осаждение из газовой фазы (Серия Мир электроники). 2006)