Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
- Автор(ы)
- Минайчев В.Е
- Год
- 1989
- Язык
- rus
- ISBN
- 5-06-000308-6
- Теги
- Электроника
Аннотация
Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 Год : 1989 Автор : Минайчев В.Е. Жанр : Пособие Издательство : Высшая школа ISBN : 5-06-000308-6 Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 111 Описание : Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности. Примеры страниц
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Минайчев В. Е. Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. — 1989.
- В тексте
- (Минайчев В. Е. Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. 1989)