Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6

Автор(ы)

Минайчев В.Е

Год

1989

Язык

rus

Теги

Электроника

Аннотация

Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 Год : 1989 Автор : Минайчев В.Е. Жанр : Пособие Издательство : Высшая школа ISBN : 5-06-000308-6 Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 111 Описание : Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности. Примеры страниц