Основы анализа поверхности и тонких пленок

Автор(ы)

Фелдман Л, Майер Д

Год

1989

Язык

rus

ISBN

5-03-001017-3

Теги

физика Химия

Аннотация

Фелдман Л., Майер Д. - Основы анализа поверхности и тонких пленок [1989, DjVu, Rus] Год выпуска : 1989 Автор : Л.Фелдман, Д.Майер Жанр : Физико-химический анализ Издательство : Москва "Мир" ISBN : 5-03-001017-3 Язык : Русский Формат : DjVu Качество : OCR без ошибок Количество страниц : 341 Описание : Монография, написанная известными американскими специалистами в обла- сти атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучения для анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне. Для специалистов, ннтересующнхся проблемами анализа поверхности н тон- ких пленок, аспирантов и студентов. Скриншоты