Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники

Автор(ы)

Джоветт Ч.Е

Год

1980

Язык

rus

Теги

Металлургия Электроника

Аннотация

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники Год издания : 1980 Автор : Джоветт Ч.Е. Издательство : М.: Металлургия Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 112 Описание : В книге изложены принципы создания микроэлектронных устройств на основе различных технологических процессов нанесения тонких и толстых пленок. Исходя из современной практики их изготовления, проведен сравнительный анализ особенностей технологии производства тонких и толстых пленок, тонкопленочных микроволновых устройств, рассмотрены возможности, которые открывает использование гибридных элементов толстопленочных схем; обсуждены вопросы металлургической совместимости материалов, из которых изготовлены эти элементы. Кроме того, описаны типы многослойных разводок и техника их получения, процессы формирования толстопленочных резистивных структур, а также ряд других вопросов. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства тонких и толстых пленок для микроэлектроники, разработки и производства гибридных интегральных микросхем, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей. Примеры страниц