Физические основы микро- и нанотехнологий
- Автор(ы)
- Цветков Ю.Б. (ред.)
- Год
- 2009
- Издательство
- Изд-во МГГУ им. Н.Э. Бау мана
- Язык
- rus
- ISBN
- 978-5-7038-3319-3
- Библиографическая ссылка
- М.: Изд-во МГГУ им. Н.Э. Бау мана, 2009. -176 с.
- Теги
- Машиностроение физика
Аннотация
Физические основы микро- и нанотехнологий Год издания : 2009 Автор : Цветков Ю.Б. (ред.) Жанр или тематика : Учебное пособие Издательство : МГТУ им. Н. Э. Баумана ISBN : 978-5-7038-3319-3 Язык : Русский Формат : PDF Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Интерактивное оглавление : Нет Количество страниц : 176 Описание : Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение". Примеры страниц Оглавление 1. Вакуум - рабочая среда для микро- и нанотехнологий 1.1. Основные положения физики вакуума 1.2. Физические процессы при вакуумной откачке 2. Теплопередача 2.1. Теплопередача теплопроводностью 2.2. Теплообмен излучением 2.3. Теория теплопередачи и ее использование для анализа физических процессов различной природы 3. Формирование потоков частиц 3.1. Формирование электронных потоков 3.2. Формирование ионных потоков 3.3. Формирование атомарных и молекулярных потоков 4. Взаимодействие потоков частиц с материалами 4.1. Взаимодействие электронных и ионных потоков с материалами 4.2. Взаимодействие ионных потоков с материалами 5. Формирование газоразрядной плазмы и ее взаимодействие с материалами 5.1. Параметры газоразрядной плазмы 5.2. Кривые Пашена 5.3. Высокочастотная плазма 6. Формирование оптического излучения 6.1. Формирование микрорельефа в резисте 6.2. Системы экспонирования 6.3. Основы теории формирования микроизображений 6.4. Скалярная теория дифракции 7. Проекционное формирование микроизображений 7.1. Качество проекционного изображения 7.2. Понятие изображающей системы 7.3. Связь между объектом и изображением 7.4. Свертка 7.5. Фурье-преобразования в оптике 7.6. Оптическая передаточная функция 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении Доп. информация : Авторы работы: Бычков С.П., Михайлов В.П., Панфилов Ю.В., Цветков Ю.Б.