Травление полупроводников

Автор(ы)

Горин С.Н. (ред.)

Год

1965

Язык

rus

Теги

физика Электроника

Аннотация

Травление полупроводников Год издания : 1965 Автор : Горин С.Н. (ред.) Переводчик : Пер. с англ. Горин С.Н. Издательство : Мир Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы + слой распознанного текста Количество страниц : 382 Описание : В книгу включен ряд обзоров и оригинальных статей по травлению важнейших полупроводниковых материалов: германия, кремния, соединений типа AIIIBV, AIIBVI и некоторых других. Подробно рассматриваются вопросы кинетики поверхностных реакций и образования поверхностного микрорельефа, выявления неоднородностей в распределении примесей (p-n-переходов и др.), обнаружения дислокаций и других структурных несовершенств, а также определения кристаллографической ориентации. Рассматриваются методы нанесения электродов и контролируемого удаления материала, обеспечения воспроизводимых электрических свойств на улучшения электрических характеристик приборов и приводятся многочисленные рецепты травителей. Книга рассчитана на инженеров и научных работников, занимающихся получением полупроводниковых материалов и разработкой разнообразных полупроводниковых приборов. Кроме того, она окажет большую пользу всем, кому приходится иметь дело с исследованием электрофизических, структурных и других свойств полупроводников. Книга может служить также учебным и справочным пособием для преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений, специализирующихся в области физики и технологии полупроводников, приборостроения, связи и др. Примеры страниц