Минайчев В.Е

Изданий в каталоге: 2

Вакуумная техника. Справочник
1992; совм. с Фролов Е.С, Александрова А.Т
Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
1989