Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике

Автор(ы)

Электронное материаловедение

Год

1977

Язык

rus

Теги

Электроника

Аннотация

Диэлектрические пленки в микроэлектронике Год издания : 1977 Автор : Корзо В.Ф., Черняев В.Н. Издательство : Энергия Серия : Электронное материаловедение Язык : Русский Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Интерактивное оглавление : Нет Количество страниц : 368 Описание : В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Определены наиболее характерные особенности практического использования пленок некристаллических диэлектриков в различных типах современных электронных устройств. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и применения диэлектрических материалов в пленочной электронике и смежных областях. Примеры страниц Оглавление ОГЛАВЛЕНИЕ Введение............... 3 Глава первая. Технологические особенности получения диэлектрических пленок. . . . . . . . . . 8 1-1. Перспективные технологические методы . . . . . 8 1-2 Влияние технологических факторов на стабильность диэлектрика в полевых приборах . . . . . . . . 54 1-3 Влияние технологических факторов на электрофизические характеристики полевых структур . . . . . . . 69 1-4 Влияние поверхностных состояний на процесс ускоренного старения диэлектрика в полевых приборах . . . 75 Глава вторая. Полевая и токовая нестабильность диэлектриков . . . . . . . . . . . . . . 88 2-1. Полевая миграция примесей в диэлектрике . . . . 88 2-2. Перенос заряда в пленочном диэлектрике . . . . 95 2-3. Механизмы инжекции в МНОП-структурах . . . . 104 2-4. Влияние механических напряжений . . . . . . . 109 2-5. Влияние дефектов структуры и примесей . . . . . 115 2-6. Влияние метода легирования диэлектрика . . . . . 125 2-7. Предпробойная проводимость и эффект переключения . 132 2-8. Примесно-стимулированный пробой . . . . . . . 139 Глава третья. Прыжковая проводимость и частотные свойства диэлектриков . . . . . . . . . . 142 3-1. Основные представления . . . . . . . . . . 142 3-2. Частотная зависимость прыжковой проводимости . . . 144 3-3. Зависимость от поля и температуры на постоянном токе 157 3-4. Прыжковая проводимость в сильном переменном поле 165 3-5. Гибридные модели прыжковой проводимости . . . . 170 3-6. Методика измерения проводимости на переменном токе 177 3-7. Частотные свойства диэлектрических пленок . . . . 181 Глава четвертая. Явления пробоя в тонких некристаллических диэлектриках . . . . . . . . . . 196 4-1. Основные представления . . . . . . . . . . 196 4-2. Тепловой пробой. . . . . . . . . . . . 203 4-3. Электрический пробой несовершенных кристаллических диэлектриков . . . . . . . . . . . . 209 4-4. Пробой пленок аморфных диэлектриков . . . . . 225 4-5. Влияние степени структурной разупорядоченности диэлектрика . . . . .