Материаловедение в микроэлектронике
- Автор(ы)
- Палатник Л.С, Сорокин В.К
- Год
- 1977
- Издательство
- Энергия
- Серия
- Электронное материаловедение
- Язык
- rus
- Теги
- Электроника
Аннотация
Материаловедение в микроэлектронике Год выпуска: 1977 Авторы: Палатник Л. С., Сорокин В. К. Жанр: микроэлектроника Издательство: Энергия Серия: Электронное материаловедение Формат: DjVu Качество: Отсканированные страницы + OCR Количество страниц: 142 (в книге — 280) Язык: русский Описание: В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов. Скриншоты Все наши сетования по поводу того, чего мы лишены, проистекают от недостатка благодарности за то, что мы имеем. Даниэль Дефо
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Палатник Л. С., Сорокин В. К. Материаловедение в микроэлектронике. — [Б. м.] : Энергия, 1977.
- В тексте
- (Палатник Л. С., Сорокин В. К. Материаловедение в микроэлектронике. [Б. м.] : Энергия, 1977)