Палатник Л. С., Сорокин В. К. - Материаловедение в микроэлектронике

Автор(ы)

Электронное материаловедение

Год

1977

Язык

rus

Теги

Электроника

Аннотация

Материаловедение в микроэлектронике Год выпуска: 1977 Авторы: Палатник Л. С., Сорокин В. К. Жанр: микроэлектроника Издательство: Энергия Серия: Электронное материаловедение Формат: DjVu Качество: Отсканированные страницы + OCR Количество страниц: 142 (в книге — 280) Язык: русский Описание: В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов. Скриншоты Все наши сетования по поводу того, чего мы лишены, проистекают от недостатка благодарности за то, что мы имеем. Даниэль Дефо