Кремний - материал наноэлектроники
- Автор(ы)
- Герасименко Н.Н, Пархоменко Ю.Н
- Год
- 2007
- Издательство
- Техносфера
- Серия
- Мир материалов и технологий
- Язык
- rus
- Теги
- Электроника
Аннотация
Кремний - материал наноэлектроники Год выпуска : 2007 Автор : Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Издательство : М. Техносфера ISBN 5-94836-101-2, 978-5-94836-101-7 Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 352 Серия: Мир материалов и технологий Описание : Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. скрытый текст
Как сослаться (ГОСТ Р 7.0.5-2008)
- В списке литературы
- Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н. Кремний - материал наноэлектроники. — [Б. м.] : Техносфера, 2007.
- В тексте
- (Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н. Кремний - материал наноэлектроники. [Б. м.] : Техносфера, 2007)