Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. - Кремний - материал наноэлектроники

Автор(ы)

Мир материалов и технологий

Год

2007

Язык

rus

Аннотация

Кремний - материал наноэлектроники Год выпуска : 2007 Автор : Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Издательство : М. Техносфера ISBN 5-94836-101-2, 978-5-94836-101-7 Формат : DjVu Качество : Отсканированные страницы Количество страниц : 352 Серия: Мир материалов и технологий Описание : Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. скрытый текст